SPTS LPX DSi深硅刻蚀机

1、仪器型号：PX-1

2、制造厂商：英国SPTS公司
3、功能说明：可切割Si、玻璃、SiC、SOI、三层键合（硅-玻璃-硅）、陶瓷等材料。配有划片清洗机、贴片机、UV解胶机及扩膜机。
4、性能指标：

（1）加工物尺寸：Φ ≤ 6inch

（2）加工物最大厚度：2mm

（3）划片道宽度：软刀300μm、200μm，硬刀80μm

5、样品要求：晶圆尺寸：≤ 6inch
6、收费标准：1500元/小时

备注：30分钟为基本时间单元

联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）