电子束光刻系统

1、仪器型号：Elphy Plus
2、制造厂商：德国卡尔蔡司
3、功能说明：纳米级图形的产生，超构表面结构制备
4、性能指标：
（1）样品尺寸：1cm*1cm
（2）最小光栅宽度：<150 μm
（3）束闸通断频率：200kHz
5、样品要求：晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：1200元/小时
备注：30分钟为基本时间单元

联系人：孟老师

电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）

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