1、仪器型号：Beneq TFS 200
2、制造厂商：青岛华旗
3、功能说明：用于干氧/湿氧氧化及硼扩散掺杂。
4、性能指标：
（1）最大可控升温速率：15°C/min；
（2）工作温度范围：200-1200℃；
（3）温度精度：±0.5℃；
（4）同时放2个石英舟，25片/舟，共50片/次；
（5）恒温区长度：800mm；
（6）气体：N2、O2、H2。
5、样品要求：晶圆尺寸4 inch（直径）
6、收费标准：通工艺气体时收费500元/小时，升降温时间为250元/小时。
备注：60分钟为基本时间单元。
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）