Parylene真空气相沉积系统PDS2010

1、仪器型号：PDS2010

2、制造厂商：美国SCS公司23
3、功能说明：用于Parylene c 薄膜的沉积。
4、性能指标：
（1）淀积薄膜：Parylene C；
（2）淀积速率：100nm/hr~5μm/hr可控；
（3）淀积薄膜厚度：100nm~10μm可控；
（4）淀积均匀性：片内<3%，片间<5%;
（5）基底淀积温度：22℃；
（6）样品基底材料：Si，Si3N4，SiO2, 玻璃，金属，陶瓷，PCB板，以及PI、PDMS等各种聚合物。
5、样品要求：晶圆尺寸，3片4 inch，向下兼容，非规则样品

6、收费标准：1m厚以下1200元/次；1m厚以上基础费1200元，厚度每增加1m加收100元

联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）