1、仪器型号：QPrep400
2、制造厂商：英国Mantis公司
3、功能说明：用于Ag纳米颗粒沉积。
4、性能指标：
（1）溅射薄膜级别：纳米级-微米级；
（2）直流电源：≤600V 、1.2A；
（3）最高分辨率：+ 2%；
（4）最大制备尺寸：4inch；
（5）生长纳米颗粒尺寸：1-20nm；
（6）生长纳米颗粒偏差：<2%。
5、样品要求：最大制备尺寸：4inch
6、收费标准：600元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）