1、仪器型号：EXPLORED
2、制造厂商：美国丹顿真空设备有限公司
3、功能说明：用于沉积Ti、Cr、Au、Pt等金属薄膜。
4、性能指标：
（1）直流电源功率：0-600W；
（2）均匀性和重复性：在6 inch衬底厚度均匀性优于±5%，重复性优于±3%；
（3）基底温度：0℃-800℃可调；
（4）真空室漏率：5E-5Torr.L/s ；
（5）极限真空：5E-7Torr。
5、样品要求：晶圆尺寸，1片6 inch，向下兼容
6、收费标准：270元/小时+材料费：80元/100nm Ag; 500元/100nm Au；800元/100nm Pt；30元/100nm(Al、Cu、Ni、Cr、Ti)；换靶每次加收300元
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）