1、仪器型号：EVG510
2、制造厂商：奥地利EVG公司
3、功能说明：可用于硅-玻璃阳极键合、共晶键合、硅-硅键合、玻璃-硅-玻璃三层键合。
4、性能指标：
（1）对准精度：±5μm， 配合EVG610光刻机进行对准
（2）温度（max）：550℃
（3）电压（max）：2kV
（4）压力（max）：10kN
5、样品要求：晶圆尺寸：4 inch（直径）
6、收费标准：500元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）