1、仪器型号：p6stylusProfiler
2、制造厂商：ZEISS
3、功能说明：具备极黑背景暗场技术，可减少光学照明系统的纵向色差；采用ICCS无限远轴向及径向双重色差校正技术；可见光下，极限可视分辨率优于0.2um；有消杂散光技术可提高成像反差和对比度；目镜：宽视场双目观察，10x/23高眼点，（科学的视场数）带视度补偿目镜，配置预装10/100十字线测微尺。
4、性能指标：
（1）平面移动范围大于75x50mm，高度范围大于110mm，具备6孔物镜转换器；
（2）记录装置：工业级专业彩色高分辨率数码摄像头，大于300万世纪有效像素，非数差值微位移，位图深度36位真色彩的高清晰、高分辨率。
（3）安装滤色片系统，配置日光矫正及隔热滤片；
（4）目镜十字线测微尺10/100和台尺1/100mm
5、样品要求：晶圆尺寸：6 inch，向下兼容，非规则样品。
6、收费标准：30元/10分钟
备注：10分钟为基本时间单元
联系人：王老师
电话：15110414725
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）维纳加工与测试机组