1、仪器型号：SUPRA-55
2、制造厂商：ZEISS
3、功能说明：可用于各种固态样品表面形貌的超分辨观察（二次电子像、反射电子像观察及图像处理），同时具备样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析、化学组分综合分析及电子束图形化曝光。
4、性能指标：
（1）二次电子像分辨率：0.8nm@15 kV， 1.6nm@l kV；
（2）加速电压范围：0.02kV～30 kV；
（3）样品室尺寸：330 mm内径，270mm高；
（4）最大样品尺寸：不大于200mm(直径)；
（5）放大倍率：12×～1000,000×；
5、样品要求：晶圆尺寸：不大于200mm(直径)；
6、收费标准：
600元/小时，喷金75元/次
备注：30分钟为基本时间单元
电话：18334789043
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）超重力化工过程山西省重点实验室