1、仪器型号：KLA Tencor P-7
2、制造厂商：KLA-Tencor
3、功能说明：可用于微结构台阶的高度测量。
4、性能指标：
（1）扫描水平方向连续扫描长度：150mm；
（2）扫描垂直方向长度：1mm；
（3）扫描垂直方向精度：4Å；
（4）最佳垂直方向测试距离：1μm；
5、样品要求：晶圆尺寸6 inch，向下兼容，非规则样品。
6、收费标准：50元/10分钟
备注：10分钟为基本时间单元
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）