1、仪器型号：4200-SCS
2、制造厂商：KEITHLEY
3、功能说明：可用于测量和分析多种电子设备、材料、有源或无源元件、半导体或任何其他类型的电子设备的电气特性。
4、性能指标：
（1）直流I-V测试：测量范围：100fA-100mA电流；1μV-210V的电压； 100fA测量分辨率；
（2）C-V测试：测量范围：从aF级到μF级；
（3）扫描频率：多频（1kHz~10MHz）C-V、超低频（10mHz~10Hz）C-V和准静态C-V；
（4）扫描电压：0-±30V。
5、样品要求：晶圆尺寸4 inch
6、收费标准：150元/30分钟
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）