1、仪器型号：EPS150TRIAX
2、制造厂商：苏州伊欧陆系统集成有限公司
3、功能说明：配合半导体参数分析仪，用于芯片常温环境下电学性能的表征。
4、性能指标：
（1）系统温度范围：20K-675K
（2）操作方式：手动探针台
（3）X-Y方向移动范围：155x155mm
（4）Z方向移动范围：10mm
（5）Theta移动范围：±8°
5、样品要求：晶圆尺寸4 inch
6、收费标准：150元/30分钟
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）