1、仪器型号：CRX-6.5K
2、制造厂商：Lake Shore
3、功能说明：配合半导体参数分析仪，在真空和20K-675K温度范围内进行芯片的电学性能的表征。
4、性能指标：
（1）系统温度范围：20K-675K
（2）控温稳定性：±50mK
（3）最大测试样品尺寸：51mm（直径）
（4）可使用探针臂：4个
（5）探针臂可进行3轴调整和平面内±5度的调整
5、样品要求：晶圆尺寸51mm（直径）
6、收费标准：250元/30分钟
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）