1.仪器型号：MFP-3D Origin Plus
2.生产厂家：AIXACT
3.应用范围：可用纳米空间分辨率和皮米垂直灵敏度的压电材料的机电性能的表征和分析。
4.技术指标：
（1）X、Y方向扫描范围：120μm；
（2）Z方向扫描范围：大于15μm；
（3）噪音水平：探针反馈噪音：小于20pm (ADev,0.1-1kHz)，X、Y方向闭环噪音：小于0.6nm (ADev,0.1-1kHz)，Z方向闭环噪音：小于0.25nm (ADev,0.1-1kHz)；
（4）最大可观测直径：80mm样品厚度：10mm（通过选配件，最大厚度可达27mm）
5.样品要求：样品质量不高于100kg ，体积小于1000mm*800mm*900mm。
6.收费标准：500元/小时
联系人：乔老师
电话：15536844968
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）