1.仪器型号：FemtoLAB
2.制造厂商：沈阳科学仪器股份有限公司
3.功能说明：可沉积Al2O3、ITO、TiN、MgO等薄膜。
4.性能指标：
（1）靶材尺寸：Φ60mm；
（2）靶材转速：5～20转/分；
（3）基片尺寸：≥φ2″；
（4）基片转速：5～20转/分；
（5）基片与靶台间距：30～90mm可调；
（6）极限真空度：≤6.67x10-6 Pa ；
（7）加热温度：800℃±1℃。
5.样品要求：晶圆尺寸：≥φ2″
6.收费标准：1600元/小时，切换激光器波长、脉冲数（除能量）等200元/次
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）