1、仪器型号：FPC03
2、制造厂商：德龙激光
3、功能说明：可实现硅、玻璃、陶瓷、罗杰斯板和蓝宝石钻孔、切割和表面刻蚀。
4、性能指标：
（1）加工幅面：200mm×200mm
（2）定位精度：±3um
（3）重复定位精度：±2um
（4）激光波长：355nm
（5）聚焦光斑：10-25μm可调
（6）加工精度：±15um
（7）最大运行速度：200mm/s（X、Y轴）25mm/s（Z轴）
5、样品要求：晶圆尺寸，4 inch
6、收费标准：350元/30分钟
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）