1、仪器型号：AE4
2、制造厂商：极智芯（北京）科技有限公司
3、功能说明：用于Au、Cu、Ti、Pt、Al等各类金属薄膜及LiNbO3材料的刻蚀。
4、性能指标：
（1）离子能量可调范围：Ei=0～1000eV；
（2）离子束流：可调范围0~130mA，峰值≥130mA；
（3）标准刻蚀角度：θe=0°~90°；
（4）刻蚀均匀性：Φ130mm范围内刻蚀不均匀性≤±2%；
（5）可加工样品尺寸：≤Φ150mm。
5、样品要求：晶圆尺寸，可加工样品尺寸：≤Φ150mm。
6、收费标准：400元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）