1、仪器型号：LP50
2、制造厂商：Logitech（英国）
3、功能说明：可用于硅、碳化硅、蓝宝石、PZT、陶瓷等多种材料晶圆片的减薄、抛光。配有专用的微晶石蜡粘片设备。
4、性能指标：
（1）样品尺寸：4、6 inch
（2）样品材料: 硅、蓝宝石、碳化硅、陶瓷等
（3）平整度偏差（TTV）：≤±5um；
（4）表面粗糙度（Ra）：Ra≤2nm
（5）粘接蜡层TTV：≤+/-5um
5、样品要求：晶圆尺寸，4、6 inch
6、收费标准：350元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）