1、仪器型号：OTF-1200X-4-RTP
2、制造厂商：合肥科晶
3、功能说明：用于真空、气体氛围下的快退火。
4、性能指标：
（1）真空度(min):50mtorr:;
（2）温度(max):1000℃控温精度:±1℃以内;
（3）升温速率:室温~800℃内≥50℃/sec;800℃~1000℃内≥10℃/sec;
（4）降温速率:在 200mtorr 下≥60℃/min;在一个大气压下110℃/min；
（5）样品尺寸：≤4inch，向下兼容；
（6）按照材料分类，玻璃管必须专用。
5、样品要求：晶圆尺寸≤4inch
6、收费标准：100元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
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地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）