1、仪器型号：RTP500V+
2、制造厂商：北京东之星应用物理所
3、功能说明：用于离子注入、欧姆接触等工艺的快速真空退火。
4、性能指标：
（1）温度范围:150℃~1250℃
（2）升温速率:0.01-180℃/s， 稳态温度稳定性:士2℃；
（3）样品尺寸：≤4inch，向下兼容；
5、样品要求：晶圆尺寸≤4inch
6、收费标准：150元/小时
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）