喷胶机

1、仪器型号：SSC-200
2、制造厂商：苏州美图半导体技术有限公司
3、功能说明：可对不同尺寸和形状的基片进行涂胶，满足对大深宽比结构的侧壁进行均匀涂胶。
4、性能指标：

（1）胶厚：≥5μm
（2）均匀性：<10%@10μm
（3）温度：22-125℃
5、样品要求：晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：100元/片

联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）