1、仪器型号：IoN Wave 10
2、制造厂商：普发拓普美国公司
3、功能说明：利用等离子体对显影后的表面残胶进行去除、键合的晶圆表面进行表面活化处理。
4、性能指标：
（1）气体：O2、N2、Ar
（2）功率：50-500W连续调节
（3）气体流量：0~5L/min
5、样品要求：晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：75元/30分钟
备注：30分钟为基本时间单元
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）