1、仪器型号：Cee200XCB
2、制造厂商：Brewer Science（USA)3、功能说明：仅用于正性光刻胶的匀胶工艺。
4、性能指标：
（1）温控精度：0.1° C
（2）温控范围：22-300℃
（3）温度均匀性: ±0.3%
（4）旋转转速：0-12,000 rpm
（5）旋转加速度：0-30000rpm/sec
（6）转速调节精度：0.2rpm，重复性< 0.2rpm
（7）旋涂作业均匀性：< ±3%
5、样品要求：晶圆尺寸：≤4 inch（直径）
6、收费标准：50元/片
联系人：孟老师
电话：0351-3557319/15110401301（微信同号）
地址：中北大学微纳加工中心（山西省太原市尖草坪区学院路3号）