宽禁带半导体超越照明材料与技术全国重点实验室
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真空退火炉
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2025年12月10日
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SPTS LPX DSi深硅刻蚀机
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2025年12月09日
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飞秒激光三维微纳刻蚀平台
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2025年12月05日
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宽禁带半导体超越照明材料与技术全国重点实验室2025年度开放课题申请指南
通知公告
2025年10月13日
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Parylene真空气相沉积系统PDS2010
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2025年09月19日
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纳米团簇沉积系统
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2025年09月19日
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2025年09月19日
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等离子体增强化学气相淀积系统(ICPCVD)
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氧化扩散炉
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2025年09月19日
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晶圆键合机
平台与设备
2025年09月19日
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